式。当工件多为薄壁和薄片件时，硬夹紧易产生弹性变形，导致微孔加工后回弹超差。
机床配套小型旋片式真空泵。真空泵通过真空管路与夹具基板内部的真空腔、真空槽连通，基板上设真空阀门控制气路通断，同时配备真空压力表或者真空传感器，实时监测吸附面的真空度，若真空度不足机床会报警停机，防止加工中工件松动。
原理很简单，但是想要做到难上加难。