,投影幕布上出现一张极其复杂的三维电子显微镜图像。
他清了清嗓子,声音略显紧张:“各位请看。”
“这是我们成功实现的32层电荷捕获型堆叠结构局部剖面。”
“关键在于中间这层原子层沉积的氧化铪栅介质,它与上下多晶硅层的界面态密度被我们控制在……”
“等一下,博士。”李局长温和地打断,他扶了扶自己的眼镜,身体微微前倾,脸上带着程式化的礼貌微笑,“您说的这些……非常专业。”
“但我们更关心的是,这种结构,在实际的量产中,良率能保证吗?”
“您知道,海力士现有的产线是为平面NAND设计的。”